Para criar um arquivo temporário em Java utilizamos a própria classe File do java.io, invocando seu método estático createTempFile.

Veja o código:

File temp = File.createTempFile("meu-arquivo-temporario", ".tmp");

Este código já criará o arquivo, teste utilizando a classe abaixo para ver o caminho completo do arquivo:

package br.com.receitasdecodigo.file;

import java.io.File;
import java.io.IOException;

public class CreateTempFile {
    
    public static void main(String[] args) {
        try {
            File temp = File.createTempFile("meu-arquivo-temporario", ".tmp");
            System.out.println("Temp file: " + temp.getAbsolutePath());

        } catch (IOException e) {
            e.printStackTrace();
        }
    }
}

O resultado será:

Temp file: C:\Users\WOLMIR~1\AppData\Local\Temp\meu-arquivo-temporario2134943105866682008.tmp

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